ชุดกรองพัดลมแบบสะอาด

• จ่ายอากาศบริสุทธิ์ด้วยแผ่นกรอง HEPA

อากาศบริสุทธิ์ถูกจ่ายออกมาจากชุดกรองพัดลมที่ติดตั้งภายในแผ่นกรอง HEPA

‍

ฟังก์ชันครบครันเพื่อรักษาระดับความสะอาด

• มาพร้อมเซนเซอร์วัดความเร็วลมรุ่นใหม่ ที่ใช้ตัวต้านทานลวดให้ความร้อน

ช่วยป้องกันความถี่การระบายอากาศลดลง

ติดตั้งเซนเซอร์วัดความเร็วลมที่พัฒนาขึ้นใหม่ โดยใช้ตัวต้านทานลวดให้ความร้อน เซนเซอร์นี้สามารถตรวจจับการลดลงของความเร็วลมที่เกิดจากการอุดตันของแผ่นกรอง เพื่อป้องกันไม่ให้ความถี่การระบายอากาศลดลงตามความเร็วลมที่ลดลง

• ฟังก์ชันวิเคราะห์การอุดตันของแผ่นกรอง

ป้องกันการลดลงของความเร็วลมที่เกิดจากการอุดตันของแผ่นกรอง

เมื่อความเร็วลมลดลงเนื่องจากการอุดตันของแผ่นกรอง ระบบจะมีสัญญาณเตือนแสดงขึ้นโดยอัตโนมัติ และสามารถส่งสัญญาณเตือนไปยังอุปกรณ์ภายนอกได้อีกด้วย นอกจากนี้ ยังติดตั้งตัวปรับค่า (Variable Trimmer) สำหรับตั้งค่าระดับเกณฑ์ของความเร็วลมเป็นอุปกรณ์มาตรฐานในตัวเครื่อง

• ฟังก์ชันควบคุมความเร็วลมแบบปรับได้ (05FFU)

สามารถเพิ่มความเร็วลมได้เมื่อความเร็วลมลดลง

สามารถปรับปริมาณการไหลของอากาศของมอเตอร์พัดลมระบายอากาศที่ติดตั้งภายในชุดกรองพัดลมได้โดยการปรับระดับแรงดันไฟฟ้า
ผู้ใช้สามารถปรับการไหลของอากาศได้อย่างละเอียด หรือเพิ่มปริมาณลมเมื่อการไหลของอากาศลดลงเนื่องจากการสูญเสียแรงดัน

‍

การบำรุงรักษาแผ่นกรองที่สะดวกและมีประสิทธิภาพสูง

• รุ่นบำรุงรักษาด้านบนแบบรวดเร็ว พร้อมระบบล็อกแบบวันทัช (01FFU - 05FFU)

เปลี่ยนแผ่นกรองได้ง่าย โดยไม่ต้องใช้เครื่องมือ

ระบบล็อกแบบวันทัชช่วยให้สามารถถอดและเปลี่ยนแผ่นกรอง HEPA ได้อย่างสะดวก รวดเร็ว และไม่จำเป็นต้องใช้เครื่องมือในการเปลี่ยน

• การดูดอากาศจากด้านข้าง (A11FFU～A17FFU)

ลดระยะห่างจากเพดานให้น้อยที่สุด

ด้วยการดูดอากาศจากด้านข้างของชุดกรองพัดลม ทำให้สามารถลดระยะห่างระหว่างตัวเครื่องกับเพดานได้อย่างมีประสิทธิภาพ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับพื้นที่ติดตั้งที่มีเพดานต่ำ หรือกรณีที่ห้องคลีนบูธมีขนาดความสูงและมิติที่ใหญ่

• รุ่นบำรุงรักษาด้านล่าง (A11FFU～A17FFU)

หลีกเลี่ยงการบำรุงรักษาที่สูง

สามารถเปลี่ยนแผ่นกรอง HEPA จากภายในบูธได้ ทำให้ไม่จำเป็นต้องทำงานที่ความสูง

• สามารถสร้างสภาพแวดล้อมที่สะอาดได้อย่างง่ายดาย

และสามารถควบคุมอุณหภูมิและความชื้นได้เมื่อใช้งานร่วมกับเครื่องปรับอากาศความแม่นยำ (TCU/ECU)

สามารถสร้างสภาพแวดล้อมที่สะอาดได้อย่างง่ายดายโดยการใช้งานร่วมกับเครื่องปรับอากาศความแม่นยำ (TCU/ECU) และชุดกรองพัดลม
โดยอากาศความแม่นยำที่ผลิตจากหน่วย PAU จะถูกส่งผ่านแผ่นกรอง HEPA เพื่อจ่ายอากาศบริสุทธิ์ในพื้นที่เฉพาะ ด้วยระดับความสะอาดสูง
นอกจากนี้ ยังสามารถควบคุม “อุณหภูมิและความชื้น” และสร้าง “สภาพแวดล้อมสะอาดที่เหมาะสมที่สุด” ได้อย่างง่ายดาย
เพียงเลือกหน่วยสะอาดให้เหมาะสมกับปริมาตรของพื้นที่เป้าหมายและระดับความสะอาดที่ต้องการ

‍

ประเภทของแผ่นกรอง

• แผ่นกรองประสิทธิภาพสูง

ระดับความสะอาดที่ใช้งาน: Class 10～200,000

ตัวอย่างการใช้งาน: สำนักงานทั่วไป เป็นต้น

ความจุ: มีความสามารถในการกรองสูงกว่าแผ่นกรองฝุ่นหยาบ

• แผ่นกรอง HEPA

ระดับความสะอาดที่ใช้งาน: Class 100～10,000

ตัวอย่างการใช้งาน: กระบวนการหลังการผลิต IC, กระบวนการผลึกเหลว ฯลฯ

ความจุ: สามารถดักจับอนุภาคขนาด 0.3 ไมครอน ได้ถึง 99.97%

• แผ่นกรอง ULPA

ระดับความสะอาดที่ใช้งาน: Class 1～10

ตัวอย่างการใช้งาน: กระบวนการก่อนการผลิต IC ฯลฯ

ความจุ: 9สามารถดักจับอนุภาคขนาด 0.1 ไมครอน ได้ถึง 99.99%

‍

‍

มาตรฐานระดับความสะอาด

• Class 100

ความถี่ในการระบายอากาศ : 250–400 ครั้ง

จำนวนอนุภาค : 3,530 อนุภาค/ลบ.ม. | 100 อนุภาค/ลูกบาศก์ฟุต

ความเร็วลม : 0.2–0.4 เมตร/วินาที

• Class 1,000

ความถี่ในการระบายอากาศ : 150 ครั้ง

จำนวนอนุภาค : 35,300 อนุภาค/ลบ.ม. | 1,000 อนุภาค/ลูกบาศก์ฟุต

ความเร็วลม : 0.1～0.2 เมตร/วินาที

• Class 10,000

ความถี่ในการระบายอากาศ : 75 ครั้ง

จำนวนอนุภาค : 353,000 อนุภาค/ลบ.ม. | 10,000 อนุภาค/ลูกบาศก์ฟุต

ความเร็วลม : 0.05～0.07 เมตร/วินาที

• Class 100,000

ความถี่ในการระบายอากาศ : 20 ครั้ง

จำนวนอนุภาค : 3,530,000 อนุภาค/ลบ.ม. | 100,000 อนุภาค/ลูกบาศก์ฟุต

ความเร็วลม : 0.05～0.04 เมตร/วินาที

‍

‍ชุดกรองพัดลมสะอาด

• PAU-01FFU

ปริมาณการไหลของอากาศ (ม³/นาที) ※: ประมาณ 0.8/0.9 ขึ้นไป

ประสิทธิภาพการกรองฝุ่น: 99.97% ขึ้นไป สำหรับอนุภาคขนาด 0.3 ไมครอน

• PAU-03FFU

ปริมาณการไหลของอากาศ (ม³/นาที) ※: ประมาณ 2.8/3.0 ขึ้นไป

ประสิทธิภาพการกรองฝุ่น: 99.97% ขึ้นไป สำหรับอนุภาคขนาด 0.3 ไมครอน

• PAU-05FFU

ปริมาณการไหลของอากาศ (ม³/นาที) ※: ประมาณ 4.8/5.0 ขึ้นไป

ประสิทธิภาพการกรองฝุ่น: 99.97% ขึ้นไป สำหรับอนุภาคขนาด 0.3 ไมครอน

• PAU-A11FFU

ปริมาณการไหลของอากาศ (ม³/นาที) ※: ประมาณ 11 ขึ้นไป

ประสิทธิภาพการกรองฝุ่น: 99.97% ขึ้นไป สำหรับอนุภาคขนาด 0.3 ไมครอน

• PAU-A14FFU

ปริมาณการไหลของอากาศ (ม³/นาที) ※: ประมาณ 14 ขึ้นไป

ประสิทธิภาพการกรองฝุ่น: 99.97% ขึ้นไป สำหรับอนุภาคขนาด 0.3 ไมครอน

• PAU-A17FFU

ปริมาณการไหลของอากาศ (ม³/นาที) ※: ประมาณ 17 ขึ้นไป

ประสิทธิภาพการกรองฝุ่น: 99.97% ขึ้นไป สำหรับอนุภาคขนาด 0.3 ไมครอน

• PAU-A11FFU-ULPA

ปริมาณการไหลของอากาศ (ม³/นาที) ※: ประมาณ 9 ขึ้นไป

ประสิทธิภาพการกรองฝุ่น: 99.999% ขึ้นไป สำหรับอนุภาคขนาด 0.1 ไมครอน

• PAU-A14FFU-ULPA

ปริมาณการไหลของอากาศ (ม³/นาที) ※: ประมาณ 12 ขึ้นไป

ประสิทธิภาพการกรองฝุ่น: 99.999% ขึ้นไป สำหรับอนุภาคขนาด 0.1 ไมครอน

• PAU-A17FFU-ULPA

ปริมาณการไหลของอากาศ (ม³/นาที) ※: ประมาณ 14 ขึ้นไป

ประสิทธิภาพการกรองฝุ่น: 99.999% ขึ้นไป สำหรับอนุภาคขนาด 0.1 ไมครอน